超纯水处理设备，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。目前一般采用二级反渗透+EDI+精混床除盐水处理工艺，确保处理后的超纯水的电阻率达到18.2MΩ.cm。铭源系列超纯水处理设备关键设备及材料均采用国际主流产品，采用PLC＋触摸屏控制，全套系统自动化程度高，系统稳定性高，水利用率高，大大节省人力成本和维护成本，运行可靠。

应用领域

☆半导体材料、器件、印刷电路板和集成化电路、实验室和中试车间。

10“彩色触控屏及 PLC控制模块，全自动控制系统。

模块化设计理念，结构紧凑，便于操作及后期维护。

所有焊点可采用轨道自动氩弧焊，且符合3D标准。

多通道阀门设计，满足工艺零死角要求。

每个单元都有取样点，便于检测。

整套设备可以完全排空设计。

可根据客户原水水质优化调整工艺路线。

系统内部部分浓水可回收，可提高系统回收率至60%以上。

确保过程检验、质量监控、验证文件符合用户需求。

    原水箱→全自动石英砂过滤器→全自动活性炭过滤器→全自动软化器→保安过滤器→一级高压泵→一级反渗透→二级高压泵→二级反渗透→纯        水箱→纯水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→脱TOC装置→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）
(新工艺，提供详细的CAD工艺流程图及设计制作图纸)

消毒方式：根据用户需求（URS），可选活性炭巴氏消毒、CIP清洗系统、分配系统臭氧灭菌、分配系统巴氏消毒、分配系统纯蒸汽灭菌。

      设备通常由全自动多介质过滤器，全自动活性碳过滤器，全自动软化器、精密过滤器等构成前期预处理系统、RO反渗透主机系统等构成主要设备系统。水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人职守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和可靠性。